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            材料性能

            項目
            規格
            檢測方法
            生長方式
            CZ
            --
            結晶性
            單晶
            擇優化學腐蝕法
            幾何尺寸
            M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm
            硅片自動檢測設備
            厚度
            165 ﹢20/﹣10 μm 160 ﹢20/﹣10 μm 155 ﹢20/﹣10 μm 150 ﹢10/﹣10 μm
            硅片自動檢測設備
            項目:
            生長方式
            規格:
            CZ
            檢測方法:
            --
            項目:
            結晶性
            規格:
            單晶
            檢測方法:
            擇優化學腐蝕法
            項目:
            幾何尺寸
            規格:
            M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm
            檢測方法:
            硅片自動檢測設備
            項目:
            厚度
            規格:
            165 ﹢20/﹣10 μm 160 ﹢20/﹣10 μm 155 ﹢20/﹣10 μm 150 ﹢10/﹣10 μm
            檢測方法:
            硅片自動檢測設備

            電性能

            項目
            規格
            檢測方法
            電阻率
            0.3-2.1 ohm.cm 1-7 ohm.cm
            硅片自動檢測設備
            少子壽命
            ≥500us ≥1000us
            Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3)
            氧含量
            ≤8E + 17 at/cm3
            傅里葉變換紅外光譜儀
            碳含量
            ≤ 5E + 16 at/cm3
            傅里葉變換紅外光譜儀
            項目:
            電阻率
            規格:
            0.3-2.1 ohm.cm 1-7 ohm.cm
            檢測方法:
            硅片自動檢測設備
            項目:
            少子壽命
            規格:
            ≥500us ≥1000us
            檢測方法:
            Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3)
            項目:
            氧含量
            規格:
            ≤8E + 17 at/cm3
            檢測方法:
            傅里葉變換紅外光譜儀
            項目:
            碳含量
            規格:
            ≤ 5E + 16 at/cm3
            檢測方法:
            傅里葉變換紅外光譜儀

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